试题详情
- 多项选择题干氧氧化法具备以下一系列的优点()。
A、生长的二氧化硅薄膜均匀性好
B、生长的二氧化硅干燥
C、生长的二氧化硅结构致密
D、生长的二氧化硅是很理想的钝化膜
E、生长的二氧化硅掩蔽能力强
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