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多项选择题某发明专利申请的权利要求1如下：“权利要求1：一种半导体器件，包括部件a、b、c。”下列哪些权利要求的撰写存在缺陷？（）

A、权利要求2：如权利要求1所述的制造半导体器件的方法，其特征在于d

B、权利要求2：制造如权利要求1所述的半导体器件的方法，其特征在于e

C、权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于所述部件f由铜制成

D、权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于还包括部件g

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