A、直接作用于微生物的蛋白质、核酸和酶等，促使化学键断裂，杀死微生物

B、空气受辐射后产生微量臭氧起灭菌作用

C、降低细菌表面张力，增加菌体胞浆膜的通透性，使细胞破裂和溶解

D、间接作用于微生物体内的水分子，引起水的电离和激发，生成自由基，再作用于微生物活性分子，使微生物死亡

E、利用高频电场使物质内部分子摩擦迅速升温而灭菌