试题详情
多项选择题在深紫外曝光中，需要使用CA光刻胶，它的优点在于（）。

A、CA光刻胶对深紫外光吸收小

B、CA光刻胶将吸收的光子能量发生化学转化

C、CA光刻胶在显影液中的可溶性强

D、有较高的光敏度

E、有较高的对比度

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