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单项选择题铜与氯形成的化合物挥发能力不好，因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行，而必须施以（）。

A、等离子体刻蚀

B、反应离子刻蚀

C、湿法刻蚀

D、溅射刻蚀

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