试题详情
- 多项选择题二氧化硅膜的质量要求有（）。
A、薄膜表面无斑点
B、薄膜中的带电离子含量符合要求
C、薄膜表面无针孔
D、薄膜的厚度达到规定指标
E、薄膜厚度均匀，结构致密
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