试题详情
- 单项选择题刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率,()是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度,并计算这些点的刻蚀速率而得到的。
A、选择性
B、均匀性
C、轮廓
D、刻蚀图案
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